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UV-NIL /SmartNIL®系统
EV Group为基于紫外线的纳米压印光刻(UV-NIL)提供 产品线,包括不同的单步压印系统,大面积压印机以及用于高效母版制作的分步重复系统。除了柔软的UV-NIL,EVG还提供其 SmartNIL技术以及多种用途的聚合物印模技术。高效,强大的SmartNIL工艺可提供高图案保真度,高度均匀的图案层和 少的残留层,并具有易于调整的晶圆尺寸和产量。
EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期承诺,即纳米压印是一种用于大规模生产微米和纳米级结构的 , 和具有批量生产能力的技术。
选择您的UV-NIL /SmartNIL®系统
EVG®610 UV-纳米压印光刻系统
具有紫外线纳米压印功能的通用研发掩膜对准系统,从小件到150毫米
EVG®620NT SmartNIL®UV纳米压印光刻系统
具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统,采用EVG SmartNIL®技术,可达100 mm
EVG®6200NT SmartNIL®UV纳米压印光刻系统
具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统,采用EVG SmartNIL®技术(150毫米)。
EVG®720 自动化的SmartNIL®UV纳米压印系统
具有EVG SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案可达150毫米。
EVG®7200 自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统
具有EVG SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案200毫米
EVG®7200LA 自动化的大面积SmartNIL®UV纳米压印光刻系统
大面积 的共形纳米压印光刻技术。
HERCULES®NIL 完全集成的SmartNIL®UV-NIL系统
完全集成的纳米压印光刻解决方案,用于大规模生产,具有EVG SmartNIL®压印技术。
EVG®770 分步重复纳米压印光刻系统
分步重复纳米压印光刻技术,可实现高效的母版制作。
IQAligner® 自动化紫外线纳米压印光刻系统
UV压印系统,用于晶圆级透镜成型和堆叠。
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