2．曝光面积：160×160mm； 可选210mm/310mm
3．曝光照度不均匀性：≤3%；
4．曝光强度：0～≥50mw/cm2可调；
5．紫外光束角：≤3°（可选 2?或 1°相对曝光照度会变弱）；
6．紫外光中心波长：365nm；（可选汞灯全波段）
7．紫外光源寿命：≥2 万小时；
8．分离量：0～≥1090um 可调；
9．对准精度：≤1μm；
10．曝光方式：硬接触、软接触和接近式曝光；
11. 曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光
12. 定位传感器及自动旋转系统（含预订位工作台）：旋转角度 Q≥±180°旋
转精度 Q≤0.001°；
13．图像识别及自动对准系统（含对准工作台）：对准范围 X.Y≥±5mm，升旋
转角度 Q≥±3°，显微镜整体横向相对移动≥±70mm。
14．掩模版尺寸： 可定制
15．晶圆尺寸：2、4、5、 6
16.A.B 晶圆盒移动：Z≥±100mm；
17．装卸载机械手：X≥±100mm，Y≥±100mm,Z≥±20mm；
18.晶圆盒晶圆片数量：根据客户晶圆盒晶圆数量定；
19．版架台移动：X.Y≥±3m
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