2.曝光面积:160×160mm; 可选210mm/310mm
3.曝光照度不均匀性:≤3%;
4.曝光强度:0~≥50mw/cm2可调;
5.紫外光束角:≤3°(可选 2?或 1°相对曝光照度会变弱);
6.紫外光中心波长:365nm;(可选汞灯全波段)
7.紫外光源寿命:≥2 万小时;
8.分离量:0~≥1090um 可调;
9.对准精度:≤1μm;
10.曝光方式:硬接触、软接触和接近式曝光;
11. 曝光模式:可选择一次曝光或套刻曝光
12. 定位传感器及自动旋转系统(含预订位工作台):旋转角度 Q≥±180°旋
转精度 Q≤0.001°;
13.图像识别及自动对准系统(含对准工作台):对准范围 X.Y≥±5mm,升旋
转角度 Q≥±3°,显微镜整体横向相对移动≥±70mm。
14.掩模版尺寸: 可定制
15.晶圆尺寸:2、4、5、 6
16.A.B 晶圆盒移动:Z≥±100mm;
17.装卸载机械手:X≥±100mm,Y≥±100mm,Z≥±20mm;
18.晶圆盒晶圆片数量:根据客户晶圆盒晶圆数量定;
19.版架台移动:X.Y≥±3m
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