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株式会社 日立製作所 Hitachi, Ltd.
HITACHI过滤单元 日立FFU风扇PCU-0612DB
FFU(Fan Filter Unit)是一种主要安装在无尘室天花板上以提供清洁空气的设备,以保持半导体制造工厂等无尘室的清洁度。
日立的FFU也兼容DCBL型,实现节能运行。它还支持多种选择。
日立的风扇过滤单元采用高效风扇,实现轻薄、节能、轻量化。
即使安装在半导体制造设备中FFU上部的电气元件数量增加,也可以在不改变风速等规格的情况下将其做得更薄。
设备用FFU的特点
重量轻、薄,可以很容易地集成到半导体制造设备中。
由于风扇的综合效率高,实现了电机和风扇的高效率,发热量少,受温升影响小。
考虑到化学过滤器等的压力损失,可以支持98Pa的外部静压。
它旨在实现低功耗并有助于节能。
1个风扇即可实现大风量,操作性优异,可灵活支持客制化产品。请联系
我们了解详情。
还可以灵活支持外部风速控制。
我们对所有这些都进行了检查,并建立了安全可靠的服务体系。
它具有丰富的电源变化,您可以从四种类型的电源中进行选择。
(1φ AC100V, 1φ AC200V, DC 48V, 3φ AC200V)
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